産業用PC / 業務用タブレット
エッジコンピューティング

chemSHERPA(含有化学物質情報の伝達)× SEMI-F47(瞬時電圧低下への耐性)。2つの課題を、1台で解決。

chemSHERPA × SEMI-F47 両立産業用コンピュータ

含有化学物質情報の伝達(chemSHERPA)と、瞬時電圧低下への耐性(SEMI-F47)、
半導体製造装置に求められる2つの要件に、1台で応える産業用コンピュータです。

半導体製造装置は、含有化学物質情報の伝達(chemSHERPA)と瞬低耐性(SEMI-F47)の両方への対応を求められるケースがあります。装置側で両方が求められる場合でも、制御を担う産業用コンピュータの層では、この2つの両立が課題となります。
SWS1200/SWS1220は、この2つの要求に1台で応える産業用組み込みコンピュータです。

chemSHERPA × SEMI-F47両立モデル

SWS1200 外観

SWS1200

3Uラックマウント|大容量ストレージモデル

  • ■ インテル® Xeon® D-2700シリーズプロセッサ搭載
  • ■ メインメモリ最大256GB(DDR4, ECC)
  • ■ 3.5インチHDD 標準6台(工場オプションで最大8台)・RAID 1/5/6・ホットスワップ対応
  • ■ BMC搭載・RAS機能・UPSオプション
  • ■ AC200V以上の入力時、SEMI-F47(瞬低)の条件で動作継続を確認(UPS非搭載モデル)

主な用途:
半導体製造装置(検査・搬送・制御)ほか

製品詳細仕様 →
SWS1220 外観

SWS1220

2Uラックマウント|コンパクトモデル

  • ■ インテル® Xeon® D-2700シリーズプロセッサ搭載
  • ■ メインメモリ最大256GB(DDR4, ECC)
  • ■ 2.5インチSSD 2台・RAID 1(ミラーリング)・ホットスワップ対応
  • ■ BMC搭載・RAS機能
  • ■ AC200V以上の入力時、SEMI-F47(瞬低)の条件で動作継続を確認

主な用途:
半導体製造装置(検査・搬送・制御)ほか

製品詳細仕様 →

半導体製造装置の開発を取り巻く課題

課題 01

グリーン調達要件の強化。
装置メーカーからサプライヤーへ、chemSHERPAによる含有化学物質情報の伝達が求められるケースがある

課題 02

瞬低(瞬時電圧低下)による装置停止リスク。制御用コンピュータが落ちれば、メイン動力が生きていても装置は止まる

課題 03

両方に応える標準品コンピュータが見つけにくい。
電源とコンピュータを個別に選ぶと、両方の要件を揃えにくい

▼

chemSHERPAによる情報伝達

約1万点の構成部品の含有化学物質情報

×

SEMI-F47準拠の瞬低耐性

実機評価試験で動作継続を確認

1台の標準品で、両立
SWS1200/SWS1220

サンリツオートメイション製

瞬低耐性・化学物質情報伝達・品質保証を、1台で

01

化学物質情報伝達(chemSHERPA)

約1万点の構成部品を対象にchemSHERPAによる含有化学物質情報の管理・伝達体制を整備。
装置メーカー様のグリーン調達要件に応えます。

構成部品(約1万点)→サンリツオートメイション(含有化学物質情報の集約・管理)→HPCシステムズ(お客様への一次窓口、データ授受・サポート)→装置メーカー様(グリーン調達)。標準フォーマット(chemSHERPA-AI)の調査回答を、一次窓口のHPCシステムズ経由で受け取れる

02

瞬低耐性(SEMI-F47)

AC200V以上の入力時に、SEMI-F47が定める電圧低下条件(供給電圧50%で200ms、70%で500ms、80%で1000ms)で動作を継続することを、製品評価試験で確認しています(SWS1200はUPS非搭載モデル)。
制御用コンピュータ起因の装置停止リスクを低減します。

入力電圧が瞬低(瞬時電圧低下)した間も、本製品は停止・リセットなく正常動作が継続。SEMI-F47(瞬低)への耐性を製品評価試験で確認(AC200V以上)

03

品質保証・長期供給

開発・出荷・供給の各段階で品質を確認し、量産期から保守期まで安定した部材供給を続けます。お客様の生産計画と装置ライフサイクルに寄り添う、品質保証と供給の約束です。

開発段階|型式評価試験(設計品質を確認)、出荷時|出荷検査(製造品質を確認)、供給段階|長期安定供給(量産期から保守期まで)。各段階の品質確認が支える供給

※ SEMI-F47は半導体製造装置向けの規格で、装置を構成するサブシステム・コンポーネントも対象に含まれます。
本製品の記載は、製品評価試験の結果に基づきます。

運用を支える特長

04

BMCによる遠隔監視・操作

BMCを標準搭載し、専用LAN経由でOSから独立した遠隔管理が可能。iKVMやイベントログにより、装置設置後の状態確認・障害の切り分けを現地に出向くことなく行えます。RAS機能との組み合わせで予防保全にも活用できます。

SWS1200/SWS1220内のBMC(常時稼働)が専用LANで管理端末と接続し、状態監視・イベントログの送信と遠隔操作(iKVM等)を行う。BMCはホストOSから独立した管理系統。データ用LANとは別の専用ポートで接続

05

大容量ストレージ/拡張性

SWS1200は3.5インチHDDを標準6台(工場オプションで最大8台)搭載し、RAID 1/5/6・ホットスワップに対応。SWS1220は2.5インチSSD 2台のRAID 1(ミラーリング)構成です。拡張スロットは両機種ともPCI Express 4.0 x16×2ほかを備え、画像処理ボード等の増設に対応します。

ストレージ(機種別):SWS1200(3U)は3.5インチHDD標準6台(最大8台)RAID 1/5/6、SWS1220(2U)は2.5インチSSD 2台 RAID 1(ミラーリング)。拡張スロット(両機種共通):PCIe 4.0 x16×2、PCIe 3.0 x8×1、PCIe 3.0 x4×1(SWS1200は、うち1基のPCI Express 3.0 x8にRAIDカードを実装)。画像処理・キャプチャボード等の増設に対応。許容電力・寸法条件は機種別に規定(製品仕様を参照ください)

06

国内開発・国内生産
製造元:サンリツオートメイション

製造元のサンリツオートメイションが、開発から製造までを国内で一貫して行い、設計変更や不具合対応を自社内で完結します。構成部品の変更は6ヶ月前のPCN(部品変更通知)で事前にご案内。HPCシステムズは一次窓口として、再評価・切替のご相談をサポートします。

サンリツオートメイション(国内工場|開発・製造を一貫)。変更管理プロセス(PCN):構成部品の変更が発生→PCN通知(6ヶ月前に事前案内)→お客様側で再評価・切替計画。同一構成での長期安定供給/計画的な切替。突然の仕様変更・供給打ち切りを避け、装置の量産・保守計画を保護します

お問い合わせ

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03-5446-5535(月曜日~金曜日 9:00 ~ 18:00)

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