chemSHERPA × SEMI-F47 両立産業用コンピュータ
含有化学物質情報の伝達(chemSHERPA)と、瞬時電圧低下への耐性(SEMI-F47)、
半導体製造装置に求められる2つの要件に、1台で応える産業用コンピュータです。
半導体製造装置は、含有化学物質情報の伝達(chemSHERPA)と瞬低耐性(SEMI-F47)の両方への対応を求められるケースがあります。装置側で両方が求められる場合でも、制御を担う産業用コンピュータの層では、この2つの両立が課題となります。
SWS1200/SWS1220は、この2つの要求に1台で応える産業用組み込みコンピュータです。
chemSHERPA × SEMI-F47両立モデル

SWS1200
3Uラックマウント|大容量ストレージモデル
- ■ インテル® Xeon® D-2700シリーズプロセッサ搭載
- ■ メインメモリ最大256GB(DDR4, ECC)
- ■ 3.5インチHDD 標準6台(工場オプションで最大8台)・RAID 1/5/6・ホットスワップ対応
- ■ BMC搭載・RAS機能・UPSオプション
- ■ AC200V以上の入力時、SEMI-F47(瞬低)の条件で動作継続を確認(UPS非搭載モデル)
主な用途:
半導体製造装置(検査・搬送・制御)ほか

SWS1220
2Uラックマウント|コンパクトモデル
- ■ インテル® Xeon® D-2700シリーズプロセッサ搭載
- ■ メインメモリ最大256GB(DDR4, ECC)
- ■ 2.5インチSSD 2台・RAID 1(ミラーリング)・ホットスワップ対応
- ■ BMC搭載・RAS機能
- ■ AC200V以上の入力時、SEMI-F47(瞬低)の条件で動作継続を確認
主な用途:
半導体製造装置(検査・搬送・制御)ほか
半導体製造装置の開発を取り巻く課題
グリーン調達要件の強化。
装置メーカーからサプライヤーへ、chemSHERPAによる含有化学物質情報の伝達が求められるケースがある
瞬低(瞬時電圧低下)による装置停止リスク。制御用コンピュータが落ちれば、メイン動力が生きていても装置は止まる
両方に応える標準品コンピュータが見つけにくい。
電源とコンピュータを個別に選ぶと、両方の要件を揃えにくい
▼
chemSHERPAによる情報伝達
約1万点の構成部品の含有化学物質情報
SEMI-F47準拠の瞬低耐性
実機評価試験で動作継続を確認
1台の標準品で、両立
SWS1200/SWS1220
サンリツオートメイション製
瞬低耐性・化学物質情報伝達・品質保証を、1台で
01
化学物質情報伝達(chemSHERPA)
約1万点の構成部品を対象にchemSHERPAによる含有化学物質情報の管理・伝達体制を整備。
装置メーカー様のグリーン調達要件に応えます。

02
瞬低耐性(SEMI-F47)
AC200V以上の入力時に、SEMI-F47が定める電圧低下条件(供給電圧50%で200ms、70%で500ms、80%で1000ms)で動作を継続することを、製品評価試験で確認しています(SWS1200はUPS非搭載モデル)。
制御用コンピュータ起因の装置停止リスクを低減します。

03
品質保証・長期供給
開発・出荷・供給の各段階で品質を確認し、量産期から保守期まで安定した部材供給を続けます。お客様の生産計画と装置ライフサイクルに寄り添う、品質保証と供給の約束です。

※ SEMI-F47は半導体製造装置向けの規格で、装置を構成するサブシステム・コンポーネントも対象に含まれます。
本製品の記載は、製品評価試験の結果に基づきます。
運用を支える特長
04
BMCによる遠隔監視・操作
BMCを標準搭載し、専用LAN経由でOSから独立した遠隔管理が可能。iKVMやイベントログにより、装置設置後の状態確認・障害の切り分けを現地に出向くことなく行えます。RAS機能との組み合わせで予防保全にも活用できます。

05
大容量ストレージ/拡張性
SWS1200は3.5インチHDDを標準6台(工場オプションで最大8台)搭載し、RAID 1/5/6・ホットスワップに対応。SWS1220は2.5インチSSD 2台のRAID 1(ミラーリング)構成です。拡張スロットは両機種ともPCI Express 4.0 x16×2ほかを備え、画像処理ボード等の増設に対応します。

06
国内開発・国内生産
製造元:サンリツオートメイション
製造元のサンリツオートメイションが、開発から製造までを国内で一貫して行い、設計変更や不具合対応を自社内で完結します。構成部品の変更は6ヶ月前のPCN(部品変更通知)で事前にご案内。HPCシステムズは一次窓口として、再評価・切替のご相談をサポートします。
